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公司问答丨国林科技:目前主要用做半导体湿法清洗、薄膜沉积等行业辅助设备使用 占主营业务收入比重较小

格隆汇9月18日|有投资者在互动平台向国林科技提问,公司半导体业务应该是跟车仪田一样的,属于半导体核心零部件子系统对吗?国林科技回复称,臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求,目前主要用做半导体湿法清洗、薄膜沉积等行业辅助设备使用,占主营业务收入比重较小。